Rexroth力士樂(lè)DB30G2N5X/50E先導(dǎo)式溢流閥
R900758395
DB30G2N5X/50-15V
R901445109
DB30G2N5X/50E
R900771848
DB30G2N5X/50P10
R901017038
DB30G2N5X/50P15
R901083485
DB30G2N5X/50P15V
R901273127
DB30G2N5X/50P15Y
R900755826

DB30G2N5X/50P20

一般說(shuō)來(lái)，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí)，水的蒸氣壓已低于 帕。溫度為20K時(shí)，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于 帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器，低溫板為20K時(shí)，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
類(lèi)型
低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。
注入式液氦低溫泵
主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到 帕壓力時(shí)灌入液氮和液氦，氣體凝結(jié)在4.2K的工作冷板上。經(jīng)預(yù)抽使氦氫分壓到 帕數(shù)量級(jí)，故泵可獲得 帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕，液氦溫度可降到2.3K，則可得到更低的極限壓力。
閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵
它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵。這種泵不消耗氦氣、操作簡(jiǎn)便，易于維修，應(yīng)用日漸廣泛。制冷機(jī)的制冷介質(zhì)為氣氦，一級(jí)冷板溫度為50～100K，典型應(yīng)用是65K，用來(lái)冷凝水蒸汽和預(yù)冷其他氣體二級(jí)冷板溫度為10～20K，用來(lái)冷凝氮、氧和氬等氣體。在二級(jí)冷板的內(nèi)表面涂以活性炭。活性炭在低溫下對(duì)氦、氖和氫有很強(qiáng)的吸附能力。冷板由無(wú)氧銅制成，表面拋光達(dá)到鏡面程度，以減小輻射系數(shù)。泵的極限壓力為 帕，工作壓力范圍為 帕，要求預(yù)抽壓力為1帕。制成的產(chǎn)品抽氣速率已達(dá)60000升/秒。此外，尚可根據(jù)工藝的特點(diǎn)把抽氣冷板安排在被抽容器內(nèi)，其抽氣速率可達(dá)到106升/秒以上。